Cu-Cu連接技術
Cu-Cu連接技術
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本發明公開了一種電子元件封裝中CuCu直接互連方法,應用于高溫的電子封裝方法,包括:一,冷噴涂參數確定;二,待焊工件的裝配;三,工件的氧化還原燒結連接,焊機進行焊接,在焊接的過程中始終采用穩定的壓力,同時分段加熱被焊Cu工件,使得被焊Cu工件在焊機中空氣氣氛下氧化,氧化完成后,再通入還原性氣體進行還原,原位生成納米的銅顆粒,再熱壓燒結,在預定的還原時間內加熱,加壓,隨爐冷卻,完成焊接.該方法利用冷噴涂處理Cu基板,施加壓力,采用氧化還原反應原位生成納米Cu顆粒實現CuCu直接互連短流程焊接方法,得到全Cu接頭.
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