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直通硅通孔
直通硅通孔
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一種直通硅穿孔制造方法包括:在硅板中蝕刻多個直通孔.將氧化物襯墊沉積在硅板的表面上并且沉積在直通孔的側壁及底壁上.然后,在直通孔中沉積金屬導體.在可與氧化物襯墊同時使用的另一方案中,將氮化硅鈍化層沉積在基板的硅板的暴露后表面上.