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微型機器人電子失能系統是一種特定的MEMS，它具有六個部分，包括傳感器系統、信息處理與自主導系統、機動系統、破壞系統和驅動電源。這種MEMS具有一定的自主能力，并擁有初步的機動能力，當需要攻擊敵方的電子系統時，無人駕駛飛機就投放這些MEMS。其中的一種方案是利用昆蟲作為平臺，通過刺激昆蟲的神經來控制昆蟲完成接近目標的過程。通過這樣的MEMS可以無聲無息地破壞敵方的主要目標，有相當的戰略意義。

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