紫外光刻機(jī)
紫外光刻機(jī)
相關(guān)文章 : 3篇
瀏覽 : 49次
該光刻機(jī)可廣泛用于MEMS和光電子,例如LED生產(chǎn)。它經(jīng)過特殊設(shè)計(jì),方便處理各種非標(biāo)準(zhǔn)基片、例如混合、高頻元件和易碎的III-V族材料,包括砷化鎵和磷化銦。而且該設(shè)備可通過選配升級套件,實(shí)現(xiàn)紫外納米壓印光刻。它具有以下亮點(diǎn):高分辨率掩模對準(zhǔn)光刻,特征尺寸優(yōu)于0.5微米、裝配SUSS的單視場顯微鏡或分視場顯微鏡,實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確對準(zhǔn)、針對厚膠工藝進(jìn)行優(yōu)化的高分辨光學(xué)系統(tǒng)、可選配通用光學(xué)器件,在不同波長間進(jìn)行快速切換等
推薦產(chǎn)品
列表欄目