您現(xiàn)在的位置: 首頁 > 標簽 > 光刻機設(shè)備
光刻機設(shè)備
光刻機設(shè)備
相關(guān)文章 : 2篇 瀏覽 : 122次

光刻機(Mask Aligner) 又名:掩模對準曝光機,曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等,是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù),把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。