mems氣體傳感器,mems傳感器是什么意思


1、mems傳感器是什么意思
MEMS傳感器即微機電系統(Microelectro Mechanical Systems)
是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經過四十多年的發展,已成為世界矚目的重大科技領域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫學等多種學科與技術,具有廣闊的應用前景。
截止到2010年,全世界有大約600余家單位從事MEMS的研制和生產工作,已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數字微鏡顯示器在內的幾百種產品,其中MEMS傳感器占相當大的比例。MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。
應用——MEMS傳感器應用于無創胎心檢測,檢測胎兒心率是一項技術性很強的工作,由于胎兒心率很快,在每分鐘l20~160次之間,用傳統的聽診器甚至只有放大作用的超聲多普勒儀,用人工計數很難測量準確。
而具有數字顯示功能的超聲多普勒胎心監護儀,價格昂貴,僅為少數大醫院使用,在中、小型醫院及廣大的農村地區無法普及。此外,超聲振動波作用于胎兒,會對胎兒產生很大的不利作用。盡管檢測劑量很低,也屬于有損探測范疇,不適于經常性、重復性的檢查及家庭使用。
2、請教MEMS氣體流量傳感器的原理!
產品原理
MEMS氣體質量流量計采用具有自主知識產權的MEMS芯片作為傳感器核心部件,當沒有氣體介質流過傳感器芯片時,傳感器周圍保持穩定的溫度場(溫度分布),當氣體介質流過傳感器芯片時,溫度場因為流體介質帶走熱量導致局部溫度重新分布。局部溫度場的變化量取決于流體介質的質量及流速。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進行測量,通過校準,專門設計的信號處理電路和智能控制軟件可精確測量實際的介質質量流量.
3、呼吸機應用中有哪些性能好的微差壓氣體壓力傳感器?
壓力傳感器在呼吸機中有著近30年應用的發展歷史,并成為呼吸機氣路系統的關鍵部件,此類的微差壓氣體壓力傳感器產品,知道的有北京智芯傳感自主研發的ZXP8微差壓氣體壓力傳感器,其核心是MEMS壓阻式芯體和高性能信號調理電路。信號調理芯片能夠對MEMS壓阻芯體的溫度線性度、零偏和靈敏度進行數字補償,且信號調理電路包含一個24-bit的Σ-ΔADC,保證了高精度壓力信號的輸出。同時,傳感器將MEMS壓阻式芯體和專用信號調理電路封裝在雙氣嘴結構的管殼內,降低環境對輸出的影響。
4、傳感器排名
傳感器排名:
1、博世(BOSCH)
博世是世界上最大的傳感器企業,也是世界上最大的MEMS傳感器廠商。博世是一家典型的IDM廠商,博世所有MEMS傳感器均在德國羅伊特林根(Reutlingen)制造。
博世是全球多個細分傳感器領域TOP1,包括汽車傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS氣體傳感器等領域。
博世的MEMS傳感器涵蓋慣性、環境、智能、光學、聲學傳感器5大類,是汽車制造、消費類電子、家用電器等MEMS制造商的領頭羊,牢牢占據著汽車與消費電子兩大市場。
博世集團于1909年在中國開設了第一家貿易辦事處,1926年在上海創建首家汽車售后服務車間。時至今日,集團的四大業務部門均已落戶中國:汽車技術、工業技術、消費品、能源與建筑技術。
2、索尼(SONY)
索尼是全球CMOS圖像傳感器第一企業,其全球圖像傳感器市場份額占比近40%,位于其后的是韓國三星和中國韋爾股份。
索尼擁有世界第三大MEMS代工產線,其產能需求主要來自集團內部對MEMS傳感器、CMOS圖像傳感器的需求。
索尼在制造MEMS和半導體技術加工方面的豐富經驗,提供廣泛的MEMS代工服務,包括晶圓工藝開發(開發、工程樣品、小批量至大批量生產)、可用流程有批量工藝(包括SOI)、表面工藝、半導體工藝,MEMS產線位于日本鹿兒島。
3、通用電氣(GE)
通用電氣(GE)是全球知名傳感器廠商,是先進測量和基于傳感器的技術解決方案的全球領導者。
GE設計和生產用于測量溫度、壓力、液位、濕度、氣體濃度和流量的精密儀器和系統,適用于最苛刻的客戶應用。GE為世界各地的航空航天、醫療保健、運輸、加工和工業企業的客戶提供服務。
GE旗下匯聚多個豪華傳感器品牌陣營,部分已經被出售給安費諾,曾包括:德魯克(Druck,世界最大壓力傳感器廠商之一)、General Eastern(露點濕度傳感器領導者之一)、Kaye、NovaSensor、Panametrics、Telaire、Thermometrics和Ruska等。
通用電氣(GE)是一家多元化的科技、媒體和金融服務公司,由四大業務集團構成,每個集團都包括多個共同增長的部門。
GE的產品和服務范圍廣闊,從飛機發動機、發電設備、水處理和安全技術,到醫療成像、商務和消費者金融、媒體和工業產品。
4、西門子(Siemens)
西門子成立于1847年,是全球享譽世界的電子電氣工程領域的領先企業,也是全球知名傳感器制造廠商,擁有超過60年的傳感器研發實力。
德國西門子傳感器的特點同樣包括“六化”:比如微型化、數字化、智能化、多功能化、系統化、網絡化,它是實現自動檢測和自動控制的首要環節。西門子傳感器廣泛應用于工業自動化、HVAC設備等許多領域。
2014年9月,西門子股份公司和博世集團達成協議:西門子徹底退出家電領域。出售家電業務正是西門子專注于電氣化、自動化和數字化戰略的體現。
5、霍尼韋爾(Honeywell)
霍尼韋爾是全球傳感器行業巨頭,霍尼韋爾傳感物聯事業部提供超過三萬種的產品,包括快動、限位、輕觸和壓力開關,以及位置、速度、壓力、溫濕度、電流和氣流、氣體,掃描引擎傳感器,是傳感與開關產品涵蓋范圍最廣的廠商之一。
霍尼韋爾也是全球MEMS傳感器主要廠商之一,在全球MEMS廠商中排名12。(具體情況可參看《最新全球MEMS企業排名TOP 30,3家中國企業入榜!》內容。)
霍尼韋爾始創于1885年,目前,霍尼韋爾四大業務集團均已落戶中國,高科技解決方案涵蓋航空、樓宇和工業控制技術,特性材料,以及物聯網。
責任編輯:David
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