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你足夠了解晶圓嗎?晶圓和硅片有何區別?

來源: 21ic
2020-12-31
類別:基礎知識
eye 43
文章創建人 拍明

原標題:你足夠了解晶圓嗎?晶圓和硅片有何區別?

對于晶圓和硅片的區別,可以從以下幾個方面進行闡述:

一、定義與范圍

  1. 硅片:硅片是由高純結晶硅為材料制造的圓片,一般作為集成電路和半導體器件的載體。它是由成形的硅晶片制成,具體來說,是從硅晶體拉曼光譜的硅晶片制成的。

  2. 晶圓:晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓。在半導體工藝中,晶圓所指范圍可以更廣,它通常指的是經過一系列半導體制造工藝處理后的硅片,這些工藝可能包括摻雜、光刻、蝕刻等步驟,用以形成晶體管和其他電子元件。此外,晶圓既可以指代以硅元素為構成的硅片,也可以指代化合物半導體如砷化鎵、碳化硅等構成的基體薄片。

二、材料與工藝

  1. 材料

    • 硅片:由成形的硅晶片制成,主要材料是高純度的結晶硅。

    • 晶圓:雖然主要以硅為材料,但也可以是化合物半導體材料,如砷化鎵、碳化硅等。在半導體領域,晶圓通常采用高純度的多晶硅經過一系列復雜工藝制成單晶硅,再切片得到。

  2. 工藝

    • 硅片:制作工藝要求非常細致,必須經過磨鑲、切割、結構開孔、釬焊等多步復雜工藝,才能發揮出硅片的最佳性能。

    • 晶圓:制作工藝相對硅片來說可能包含更多的半導體制造工藝步驟,如摻雜、光刻、蝕刻等,用以形成晶體管和其他電子元件。這些步驟使得晶圓上的電路結構更加復雜和精細。

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三、尺寸與厚度

  1. 尺寸:硅片的尺寸通常不會太大,一般不會超過400毫米。而晶圓的尺寸則根據其用途和制造工藝的不同而有所變化,但通常也是圓形的,且尺寸可能因工藝需求而有所調整。

  2. 厚度:硅片普遍較厚,一般厚度介于0.2毫米至2毫米之間。而晶圓的厚度則相對較薄,通常介于0.025毫米到0.2毫米之間,可根據需要將厚度進行調節。這種厚度的差異使得晶圓在半導體制造中具有更高的靈活性和適應性。

四、功能與應用

  1. 功能:硅片是一個通用型產品,其功能性能較低,只能滿足基本的功能特性。而晶圓則經過一系列復雜的半導體制造工藝處理后,具有更高的功能性能和集成度,可以滿足復雜電路的要求,基本可以滿足所有的智能電子產品。

  2. 應用:硅片主要用于半導體和光伏兩大領域。而晶圓則主要應用于半導體集成電路的制造,是制造CPU等高性能電子元件的關鍵材料。此外,晶圓還可以應用于其他領域,如化合物半導體材料的制造等。

五、其他性能

  1. 耐溫特性:硅片的耐溫特性一般較好,可以耐受溫度高達150°C。而晶圓的耐溫特性則相對較低,溫度上升到100°C就可能引起電性能的偏移。因此,晶圓在熱穩定性方面需要更加注意。

  2. 可靠性:晶圓具有很好的可靠性,不容易發生故障,而且能夠耐熱和耐寒,多年來一直被廣泛應用。

綜上所述,晶圓和硅片在定義與范圍、材料與工藝、尺寸與厚度、功能與應用以及其他性能等方面都存在顯著的差異。這些差異使得它們在半導體制造中具有不同的應用場景和優勢。


責任編輯:David

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標簽: 晶圓 硅片

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